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提起氖、氦、氪、氙這些稀有氣體，很多人并不熟悉。然而，它們卻在芯片制造等領域發揮著重要作用，被稱為半導體工業的“糧食”和“源”。 高純度的氖、氦、氪、氙等稀有氣體，以其稀缺性和提取的高難度，被視為氣體領域的“金字塔”，在世界范圍內，至今仍主要由極少數發達國家供應。 如此重要的戰略性資源，目前已在阜陽實現量產——安徽中科昊海特種氣體科技有限公司的高純特種電子氣體項目首期裝置，已于2021年成功開車，填補了安徽空白，今年以來實現產值1.9億元。 盛夏時節，阜陽煤基新材料產業園內，安徽中科昊海特種氣體科技有限公司的兩套全自動化氖氦、氪氙精制裝置正在高速運轉，每小時能分別生產20標方氖氦混合氣體、400標方氪氙混合氣體。 阜陽煤基新材料產業園是安徽省著力打造的特色化工集聚區之一。近年來，以昊源化工集團為龍頭，園區煤基化工新材料產業發展蓬勃。看中稀有氣體廣闊市場前景和昊源化工豐富的尾氣資源，2019年，安徽中科昊海落戶阜陽煤基新材料產業園，投資上馬了高純特種電子氣體項目和高端氫能項目。 項目首期建設的20標方/每小時氖氦精制裝置和400標方/每小時氪氙精制裝置，已于2021年成功開車。 “我們采用的技術，依托中科院理化所科研成果，產出的氖、氦、氪、氙稀有氣體產品純度達99.9999%，填補了安徽省企業生產稀有氣體的空白。”安徽中科昊海董事長楊坤介紹，氖、氦、氪、氙這些稀有氣體，在半導體制造等領域應用廣泛、作用關鍵。特別是高純度稀有氣體的混合物，在受到高壓激發后，會產生固定波長的光線，直接關系晶圓光刻、芯片制造質量。 雖然這些稀有氣體具有顯著的戰略性價值，然而，稀有氣體本身就很稀缺，高純度稀有氣體提取更是有著很高的技術“門檻”。目前在國際上，半導體原料氣體，主要由烏克蘭等國家供應，稀有氣體精制提取裝置，也僅有極少數國家能夠制造。 在先進技術“加持”下，安徽中科昊海迅速打破進口依賴、拓寬市場。楊坤介紹，目前，企業已同三星、鎧俠電子、長江存儲等國內外芯片制造企業建立了穩定合作關系，生產的稀有氣體已占據國內同行業20%的市場份額。 特別是受俄烏沖突等影響，國內半導體產業供應鏈加速本地化，安徽中科昊海的發展也邁出更快步伐。“去年，我們正式生產僅有不到8個月的時間，但實現銷售收入7000多萬元，今年上半年更是達到了1.9億元。” 以先進技術掌控更大“氣場”，安徽中科昊海還在發力。 今年初，企業的2000立方米/小時氫氣純化裝置開車成功；另一套1.5噸/日氫氣液化裝置目前也在集成調試中，預計下半年可開車。兩個裝置達產后，既能夠向氫燃料電池汽車加氫站供應液氫，又可滿足半導體產業對6N級乃至更高純度氫氣的需求，企業年產值也有望突破10億元。 楊坤介紹，下一步，企業將進一步搶抓發展機遇，在鞏固擴大現有產能的基礎上，加快推進二期項目建設，力爭用3年左右時間，成長為稀有氣體行業的頭部企業，為緩解高純特種電子氣體進口依賴、推動阜陽制造業高質量發展貢獻更多力量。 |
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